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潔凈車間在使用臭氧消毒時因為臭氧的三氧原子極其不穩定，這同時也決定了臭氧的氧化能力和殺菌能力都十分的強。臭氧作為一種高效的滅菌劑。通常情況下臭氧的半衰期都在二十分鐘左右，臭氧在氧化消毒以后，其它多余的氧原子會在三十分鐘左右有何空氣中的氧氣作用形成氧分子，而且不會產生任何的毒留殘物，解決了滅菌以后的二次污染問題。也幫助增加了室內空氣中氧的含量。

其具有非常強勁的除霉、除臭、除腥等有機物的異味性能。臭氧幫助改善了潔凈車間內部空氣環境的品質。當臭氧在空氣中的含量超過一定范圍時，對病菌病毒等微生物的內部結構都有很強的氧化破壞性。臭氧在一定的濃度下，且在相對封閉的環境中，擴散的十分的均勻迅速。僅僅只要短短的一個小時就可以把車間的細菌殺滅，同時還可以克服紫外線滅菌中會忽略很多死角的問題，從真正意義上做到全方位無死角的殺菌消毒。

通過把臭氧通入空調系統進行循環消毒，可以減少潔凈車間空氣中的懸浮的顆粒，從而提高空氣的潔凈度，進一步的能夠延長凈化設備使用壽命。從能夠降低運行成本來言，目前沒有任何一種消毒方法能夠和臭氧消毒相提并論的。