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對無塵室的空氣質量以及溫濕度控制是無塵室設計與維護的重要性，這里小編為您簡單的介紹下無塵室控制的一般原理及溫濕度控制的基本要求。

1.空氣過濾原理

無塵室里的空氣是靠進風系統將氣流“活塞”般的擠壓進入，氣流則是通過初效過濾器，然后再經中效過濾器，然后經過超高效過濾器，最后把潔凈空氣傳入無塵室，使無塵室中的空氣塵粒迅速達到相應的無塵室標準要求，并且同時把無塵室內污染排出。為了考慮節能，排出的污染空氣會經過回風后，再次經過超高效過濾器而重新傳入無塵室。

2.溫濕度要求

無塵室空氣溫濕度的要求由以下綜合確定：

 (1)對人的舒適性，以人穿著不同潔凈服的情況下充分發揮了工作效率，一般的溫度需要21OC~24OC才會比較適宜，若潔凈服的要求比較嚴，那么則20OC~22OC，波動<1.5OC，濕度30%~70%;

 (2)工藝的要求;

 (3)經濟性，溫濕度及相對濕度夏天越低，冬天越高，則空氣處理能耗越大。

當前微電子工廠無塵室對溫濕度的參數大致范圍是：溫度為24OC+/-1~2OC，要求嚴的為22OC+/-0.3~0.5OC。濕度為45%+/-5%~10%,要求嚴的為43%+/-3%。要求全年維持。